AT 臭氧發(fā)生器采用高品質元器件，能以極小的體型提供高濃度(最高 12%)臭氧。該系統無需昂貴且笨重的水冷裝置，內置的高速風扇即使在長時間或持續(xù)使用時，也能保持等離子體室的冷卻。可在臭氧、氧氣和關閉狀態(tài)之間進行手動或自動切換。
特征
· 臭氧產生范圍：低流量時 12% 重量%，高流量時 6%。
· 集成 O2 調節(jié)器：3 – 29 psi
· 用于非循環(huán)臭氧流的高容量臭氧破壞器
· 可通過 3 – 24V 輸入信號控制
· 用于手動臭氧控制的超控開關
· 用于選擇 O2 或臭氧輸出的前面板開關
規(guī)格
· 臭氧產生范圍：低流量 (250 sccm) 時 12% 至高流量 (2500 sccm) 時 6% (按重量計)
電暈電池由鋁制成，帶陶瓷電介質
工作頻率：5,000 – 30,000 Hz
· 氧氣/臭氧流量范圍：25 – 2500 sccm，帶面板集成流量控制
· 集成 O2 調節(jié)器：3-29 psi 范圍
· 自動臭氧控制需要 3-24V 直流輸入信號
· 110 – 220 伏交流電，60/50 赫茲，2A
· 重量 15 磅
· 尺寸：10.3 英寸寬 x 7.5 英寸高 x 20 英寸深
選件
安全監(jiān)測儀
綠色：臭氧水平低于 1500 ppb
黃色：臭氧水平 1500ppb 至 3500 ppb
紅色：臭氧水平大于 3500ppb
監(jiān)控并與 AT 系列系統集成
檢測高達 5000ppb 或 5ppm
環(huán)境臭氧氣體的實時檢測
溫度和濕度檢測
帶 LCD 顯示屏的壁掛式支架
提供一個開/關干接點繼電器輸出來控制臭氧發(fā)生器
將預先連接到臭氧發(fā)生器以進行自動關閉
安裝
有關確切的詳細信息和更多安全預防措施，請參閱 ATOzone – 安裝和作手冊：
建議在后輸入管(1/4“ 世偉洛克壓縮接頭)輸入 98+% 氧氣(至少需要 90% 純度)
排氣口(1/4“ 世偉洛克壓縮接頭)能夠處理 0.5 scfh 的純 O2 到適當的車頂排氣或同等排放。
臭氧從前端口(1/4“ 世偉洛克壓縮接頭)出來，應連接到 ALD 工具(也已適當排氣)。
將電源線連接到背面(標準 110-220VAC)
將前面的 (O2) 壓力閥轉至 15 psi，將壓力表轉至 0.2 至 0.4 scfh
前面的開關現在應定位為 O3(臭氧)
如果所有連接都已建立，則當發(fā)出 + 3 至 24V 控制信號時，控制 O2 流量的閥門將打開(將產生臭氧)。事先確保排氣管連接正確！任何時候都不要排氣到房間。
臭氧也可以通過提起背面的紅色保護器并向上翻轉手動臭氧開關來產生。
– 現在打開前面板臭氧開關 (O3) 會將臭氧輸送到前端口(進入適當排氣的 ALD 工具)。
關閉背面的保護蓋可關閉臭氧。
AT 臭氧發(fā)生器連接到真空系統時， 始終保持系統上流動的氧氣正壓。在 ATOzone 系統上拉動真空將使保修失效 。
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