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KLA Filmetrics F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x采用自動(dòng)化R-Theta平臺(tái)，支持標(biāo)準(zhǔn)和定制化樣品夾盤(pán)，最大樣品直徑達(dá)450毫米，能高效測(cè)繪薄膜厚度。該設(shè)備適用于多種厚度和類(lèi)型的薄膜，包括薄至5納米或厚至250微米的薄膜，并可根據(jù)不同需求選擇不同波長(zhǎng)范圍的型號(hào)。

KLA Filmetrics F40薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)將顯微鏡轉(zhuǎn)變?yōu)楸∧y(cè)量工具，實(shí)現(xiàn)小至1微米光斑的厚度和折射率測(cè)量。該設(shè)備配備集成彩色攝像機(jī)，可在1秒內(nèi)完成測(cè)量，并且支持多種型號(hào)以適應(yīng)不同厚度和波長(zhǎng)范圍的需求。用戶(hù)只需將其連接至Windows計(jì)算機(jī)并通過(guò)USB端口操作即可。此外，F(xiàn)40系列提供全面的技術(shù)支持和材料庫(kù)，方便用戶(hù)進(jìn)行精確測(cè)量。

KLA Filmetrics F30薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過(guò)程，提供高精度、快速且非侵入式的測(cè)量解決方案，適用于多種半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料。其主要特點(diǎn)包括提高生產(chǎn)力、低成本、高精度及易用性。該系列產(chǎn)品覆蓋不同厚度和波長(zhǎng)范圍，滿(mǎn)足多樣化測(cè)量需求。

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列，涵蓋近紅外光波長(zhǎng)范圍980 nm、1310 nm及1550 nm，能夠測(cè)量從15納米至3毫米的薄膜厚度，適用于半導(dǎo)體與介電層等材料。該設(shè)備具備單點(diǎn)測(cè)量功能，配備10微米光斑尺寸的集成光譜儀和光源，并支持?jǐn)U展功能如自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)和不同波長(zhǎng)選項(xiàng)。此外，它還提供了超過(guò)130種材料的數(shù)據(jù)庫(kù)支持，以及在線(xiàn)技術(shù)支持服務(wù)。

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)專(zhuān)為微小視野及樣品設(shè)計(jì)，支持快速、簡(jiǎn)易的厚度測(cè)量，適用于聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動(dòng)校正功能，可自動(dòng)調(diào)節(jié)靈敏度并簡(jiǎn)化設(shè)置過(guò)程。系統(tǒng)可通過(guò)USB供電，并兼容多種Windows操作系統(tǒng)。